ASML的創(chuàng)業(yè)故事：光刻巨頭的成長之路

ASML 于 1984 年 4 月 1 日成立，當(dāng)時(shí)名為 ASM Lithography。這家由飛利浦和 ASM International 組成的合資企業(yè)的使命是：將飛利浦開發(fā)的晶圓步進(jìn)機(jī) PAS 2000 商業(yè)化。圍繞ASML 創(chuàng)立的神話，描繪了這樣一幅畫面：一家小型、好奇的初創(chuàng)公司被困在一個(gè)粘稠的棚屋里，并試圖打入蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體市場。但我們是如何走到這一步的呢？ASM Lithography 的早期參與者是誰？他們?yōu)楹温?lián)手組建這家新公司？這個(gè)故事講述了飛利浦的一個(gè)小項(xiàng)目如何在快速發(fā)展的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的邊緣徘徊，然后在行業(yè)和荷蘭費(fèi)爾德霍芬找到自己的位置。公司的成立是新事物的開始，同時(shí)也是十年發(fā)展的延續(xù)。1974 年，研究人員聚集在飛利浦研究院 NatLab 的 SIRE I 原型周圍01產(chǎn)業(yè)的分工在 20 世紀(jì) 60 年代和 1970 年代，芯片制造商在內(nèi)部構(gòu)建了絕大多數(shù)半導(dǎo)體價(jià)值鏈——制造成品微芯片所需的所有步驟。隨后，在 20 世紀(jì) 70 年代末和 80 年代初，半導(dǎo)體制造技術(shù)的規(guī)模和復(fù)雜性快速增長。這種發(fā)展推動(dòng)了半導(dǎo)體價(jià)值鏈的分工。半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的出現(xiàn)是為了提供現(xiàn)成的尖端解決方案。有了這種現(xiàn)成的能力，芯片制造商和用戶開發(fā)自己的芯片制造設(shè)備就不再有意義。專業(yè)設(shè)備供應(yīng)商對(duì)于開發(fā)用于在微芯片上打印圖案的復(fù)雜光刻系統(tǒng)尤其重要。改進(jìn)這些系統(tǒng)以便它們可以打印更小的特征是推動(dòng)摩爾定律的關(guān)鍵。對(duì)于芯片制造商來說，更多的晶體管意味著以更低的成本獲得更多的計(jì)算能力。半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的這種轉(zhuǎn)變?cè)陲w利浦等大型多元化公司的內(nèi)部體現(xiàn)出來，這些公司需要用于各種產(chǎn)品和應(yīng)用的芯片。他們的內(nèi)部設(shè)備開發(fā)提供了高標(biāo)準(zhǔn)。然而，飛利浦內(nèi)部組織不支持將其光刻技術(shù)成熟到全行業(yè)競爭水平的敏捷性、適應(yīng)性和需求。相反，像飛利浦這樣的大公司剝離了制造設(shè)備業(yè)務(wù)，以便在這些技術(shù)過時(shí)之前賺錢。02PAS 2000的雛形正是在這種背景下，飛利浦開始開發(fā)自己的晶圓步進(jìn)機(jī)，用于對(duì)硅晶圓進(jìn)行圖案化。原型機(jī)Silicon Repeater (SIRE) I 和 II 由飛利浦研究中心開發(fā)。飛利浦自動(dòng)步進(jìn)機(jī) (PAS:Philips Automated Stepper) 2000 從這些研究原型中誕生。1980年5月SIRE II原型機(jī)照片在飛利浦研究中心，飛利浦的部門主要專注于基礎(chǔ)研究，晶圓步進(jìn)機(jī)有點(diǎn)反常。市場需求日益帶動(dòng)企業(yè)研發(fā)，工程制造裝備應(yīng)用較多。從 1978 年起，飛利浦科學(xué)與工業(yè) (S&I) 部門以 PAS2000 的名義推動(dòng)了商業(yè)化工作。從飛利浦研究中心轉(zhuǎn)移到 S&I 后，開發(fā)晶圓步進(jìn)機(jī)成為真正的跨學(xué)科事務(wù)。兩個(gè)部門的員工都力推自己的見解和工作方法。這種合作顯然可以被視為邁向現(xiàn)在所謂的“系統(tǒng)工程”的第一步。在龐然大物飛利浦內(nèi)部，PAS 2000 項(xiàng)目只是一項(xiàng)非常小的活動(dòng)。盡管如此，它還是遇到了時(shí)間壓力和成本增加。面對(duì)資源稀缺，時(shí)任 S&I 的副主任維姆·特魯斯特 (Wim Troost) 利用個(gè)人可自由支配的預(yù)算來維持項(xiàng)目的運(yùn)轉(zhuǎn)。他還尋求飛利浦董事會(huì)和荷蘭政府的進(jìn)一步支持。PAS 2000 的集成團(tuán)隊(duì)S&I 接手該項(xiàng)目后，Troost 等人很快意識(shí)到，外部客戶的參與對(duì)于驗(yàn)證技術(shù)是不可或缺的。他們無力制造僅供飛利浦內(nèi)部使用的 PAS 2000。如果他們想制造自己的光刻系統(tǒng)，就必須與多個(gè)客戶密切合作，將其商業(yè)化。03產(chǎn)業(yè)政策、投資者和企業(yè)家從 20 世紀(jì) 70 年代末開始，在歐盟委員會(huì)的指導(dǎo)下，西歐各國政府重塑了產(chǎn)業(yè)政策。他們專注于創(chuàng)新和協(xié)作，瞄準(zhǔn)新興行業(yè)，特別是快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)和微電子行業(yè)。這些政策是促進(jìn)經(jīng)濟(jì)活動(dòng)的新手段，如果可能的話，可以重振陷入困境的企業(yè)集團(tuán)，其中許多企業(yè)（包括飛利浦）已經(jīng)開始分崩離析。應(yīng)委員會(huì)的要求，飛利浦和其他企業(yè)向各自政府表達(dá)了這些行業(yè)的重要性。從歐洲最大的電子公司收到此消息后，荷蘭政府對(duì)這一主題有了進(jìn)一步的理解，并為他們的后續(xù)行動(dòng)提供了依據(jù)。不斷上升的成本、全球競爭和技術(shù)進(jìn)步迫使大型企業(yè)剝離非核心業(yè)務(wù)并重新調(diào)整業(yè)務(wù)重點(diǎn)。對(duì)于飛利浦來說，其中一項(xiàng)活動(dòng)就是他們的晶圓步進(jìn)機(jī)。與此同時(shí)，新興的風(fēng)險(xiǎn)投資公司和創(chuàng)業(yè)驅(qū)動(dòng)的初創(chuàng)企業(yè)和規(guī)?；髽I(yè)為工業(yè)增長提供了新的范式。04取得進(jìn)步的壓力1982 年初，飛利浦的光刻產(chǎn)品雄心面臨重大挑戰(zhàn)。他們需要更多的工程資源。盡管他們找到了評(píng)估工具的外部客戶 IBM，但能否在 1982 年夏天及時(shí)交付仍存在很大的不確定性。飛利浦研究中心的工程師立即伸出援手。S&I 高管經(jīng)常訪問海牙和布魯塞爾，尋求荷蘭政府和歐盟委員會(huì)的額外資金。在時(shí)間、資金和荷蘭經(jīng)濟(jì)部的壓力下，飛利浦 S&I 開始為其晶圓步進(jìn)機(jī)尋找合作伙伴。這引致了與 Cobilt（一家制造掩模對(duì)準(zhǔn)器和軌道的公司）的初步討論，隨后與光刻市場領(lǐng)導(dǎo)者 Perkin Elmer 進(jìn)行了討論。與此同時(shí)，荷蘭經(jīng)濟(jì)事務(wù)部、飛利浦和一家成長中的荷蘭公司 ASM International（或簡稱 ASM）之間展開了三方對(duì)話。在歐盟委員會(huì)新穎的微電子計(jì)劃 ESPRIT 的背景下，芯片公司對(duì)它們對(duì)美國設(shè)備的依賴表示了擔(dān)憂。為了滿足行業(yè)需求，該部和 Arthur Del Prado 本人提出將 ASM 作為潛在的解決方案。作為 ASM 的創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官，Del Prado 體現(xiàn)了新興且流行的創(chuàng)業(yè)精神。他是半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的先驅(qū)，于 1958 年首次將硅從硅谷引入歐洲。隨后，他于 1981 年在納斯達(dá)克首次公開募股，引起了轟動(dòng)，這對(duì)荷蘭公司來說尚屬首次。Del Prado的遠(yuǎn)見和毅力通過展示高科技行業(yè)創(chuàng)業(yè)企業(yè)的變革潛力，推動(dòng)他的公司聲名鵲起。這位企業(yè)家對(duì)飛利浦很感興趣。他意識(shí)到大公司越來越多地通過剝離創(chuàng)新來降低成本。這使得他們受人尊敬的研究實(shí)驗(yàn)室成為事實(shí)上的“孵化器”。正如他在 1982 年 2 月所說：“我非常懷疑是否要認(rèn)真努力地與光刻領(lǐng)域的競爭對(duì)手接觸，這么晚了，與該領(lǐng)域的大公司合作......除非這種情況與飛利浦這樣的大公司一起發(fā)生......”盡管如此，Del Prado 還是對(duì)飛利浦高管在創(chuàng)新方面合作的意愿表示懷疑。幾個(gè)月后，1982 年 10 月 7 日，Del Prado 了解到 PAS 2000 項(xiàng)目。他認(rèn)為與飛利浦合作可能是他進(jìn)入利潤豐厚且享有盛譽(yù)的光刻市場的門票。此后不久，這位企業(yè)家表達(dá)了 ASM 的合作興趣。該部贊同Del Prado 的觀點(diǎn)，指出這種伙伴關(guān)系對(duì)荷蘭的潛在戰(zhàn)略利益。這種伙伴關(guān)系可能會(huì)推動(dòng)荷蘭在微電子領(lǐng)域的能力。05尋求伙伴關(guān)系然而，飛利浦認(rèn)為 ASM 的地位太低，因此青睞 Perkin Elmer。盡管Del Prado具有企業(yè)家精神并取得了成功，但飛利浦高管仍將 ASM 視為暴發(fā)戶。Perkin Elmer 是一家多元化的大型公司，擁有龐大的光刻工具安裝基礎(chǔ)，被認(rèn)為是更強(qiáng)大的合作伙伴。興趣是相互的。到 20 世紀(jì) 80 年代初，晶圓步進(jìn)機(jī)比 Perkin Elmer 的 Micraligns 能夠以可接受的生產(chǎn)率對(duì)最小特征尺寸提供更多控制。在競爭加劇的情況下，這家美國公司尋求迅速鞏固其市場地位。Perkin Elmer 正在考慮與 Philips S&I 或位于列支敦士登的初創(chuàng)公司 Censor 合作。他們更喜歡飛利浦，理由是該公司的資源和 PAS 2000 的先進(jìn)性。在擬議的合資企業(yè)中，Perkin Elmer 將發(fā)揮主導(dǎo)作用，負(fù)責(zé)銷售和服務(wù)。飛利浦將貢獻(xiàn)技術(shù)和制造能力。然而，飛利浦猶豫是否授予其內(nèi)部資源的訪問權(quán)限，例如處于從屬地位的飛利浦研究中心。這種猶豫使談判時(shí)間過長，最終Perkin Elmer 與Censor合作。06工程緊迫性到 1983 年，Philips S&I 的晶圓步進(jìn)機(jī)團(tuán)隊(duì)由大約 50 名工程師組成，面臨著不確定性。他們將需要大約 1.2 億荷蘭盾（按當(dāng)前定價(jià)水平計(jì)算約為 2.45 億歐元）來升級(jí)、生產(chǎn)和銷售該機(jī)器。盡管 Troost 竭盡全力、堅(jiān)持不懈地努力，包括探索與瓦里安和松下的合作伙伴關(guān)系，但晶圓步進(jìn)機(jī)小組還是來不及了。緊迫性顯而易見。受到有關(guān) ASM 業(yè)績的積極消息的鼓舞，S&I 技術(shù)總監(jiān) Georg de Kruyff 決定于 1983 年春天恢復(fù)與 Arthur del Prado 的討論。在沒有什么可失去的情況下，他和一些同事參觀了 ASM 位于荷蘭比爾托芬的總部。Del Prado非?？释w利浦的技術(shù)和合作伙伴關(guān)系，雙方很快達(dá)成協(xié)議。將光刻系統(tǒng)添加到其產(chǎn)品組合中將使 ASM 幾乎成為半導(dǎo)體設(shè)備的一站式商店。這筆巨額投資幾乎相當(dāng)于 ASM 1982 年的全部收入。然而，飛利浦高管并不知道，Del Prado正準(zhǔn)備在 1983 年秋天之前在納斯達(dá)克上市更多的 ASM 股票，資金不會(huì)成為問題。07ASML的開始1983 年 9 月 5 日，飛利浦和 ASM 宣布了組建合資企業(yè)的意向。在接下來的幾個(gè)月里，他們完善了合作伙伴關(guān)系的細(xì)節(jié)?？紤]了經(jīng)濟(jì)部或其投資工具的股份。就進(jìn)入飛利浦研究中心進(jìn)行了談判。指定了實(shí)物和現(xiàn)金捐助。起草了投資回報(bào)計(jì)劃。一位雄心勃勃、富有遠(yuǎn)見的新總經(jīng)理 Gjalt Smit 上任。重要的是，現(xiàn)有的 50 名飛利浦 S&I 員工獲得了頗具吸引力的雇傭條款。但由于他們已經(jīng)在飛利浦工作了一輩子，他們認(rèn)為合資企業(yè)是飛利浦資產(chǎn)剝離的一種形式。人們不愿意對(duì)一家沒有市場準(zhǔn)入且關(guān)鍵技術(shù)必須重新設(shè)計(jì)的初創(chuàng)企業(yè)抱有信心。盡管如此，該小組仍有 47 人簽約。飛利浦與ASML簽署合資公司1984 年 4 月 1 日，ASM Lithography 開始運(yùn)營。它最初位于飛利浦 S&I 位于埃因霍溫的 Strijp TQ 大樓。這家新穎的公司注入了新的資源和競爭性的方法，重振了飛利浦進(jìn)軍光刻市場的努力。ASML 在埃因霍溫的第一個(gè)辦事處ASM Lithography飛出了起跑器（ASM Lithography flew out of the starting blocks）。該合資企業(yè)得到了補(bǔ)充資源、相對(duì)高度的自主權(quán)、飛利浦最先進(jìn)的工程實(shí)踐以及鼓舞人心的技術(shù)和商業(yè)挑戰(zhàn)等綜合因素的推動(dòng)。它迅速增加了更多的員工，新員工的熱情很快蔓延到原來的晶圓步進(jìn)團(tuán)隊(duì)。起草了商業(yè)計(jì)劃來升級(jí) PAS 2000 的最大缺點(diǎn)：其液壓晶圓臺(tái)（ hydraulic wafer stage）。盡管 Troost 不喜歡在半導(dǎo)體潔凈室中使用基于石油的技術(shù)，但他早在 1980 年就選擇了成熟的技術(shù)，而不是更具創(chuàng)新性的電氣階段。即使在當(dāng)時(shí)，很明顯 PAS 最終需要進(jìn)行現(xiàn)代化改造?，F(xiàn)在是時(shí)候讓現(xiàn)代化早日成為現(xiàn)實(shí)了。這家初創(chuàng)企業(yè)的規(guī)模很快就超出了其設(shè)施。通過添加一些不舒服的棚屋，這個(gè)問題暫時(shí)得到了解決。Veldhoven 被選為永久總部所在地。一座地標(biāo)性建筑凸顯了新公司的形象和承諾。從一開始，ASML 就被視為創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)型企業(yè)家精神的體現(xiàn)，并有望確保荷蘭未來的經(jīng)濟(jì)能力。年輕的企業(yè)帶著沖動(dòng)和熱忱，踏上了充滿不確定性卻又充滿希望的未來。搬遷到 Veldhoven 可能是這個(gè)故事的結(jié)束，但對(duì)于 ASML 來說這只是一個(gè)開始。早期在飛利浦外棚里的日子為 ASML 成長為我們今天所知的公司奠定了基礎(chǔ)。該團(tuán)隊(duì)富有創(chuàng)造力和決心，追求技術(shù)創(chuàng)新，突破可能的極限。08起步卑微基于 20 世紀(jì) 70 年代初以來的研發(fā)工作，同年我們推出了第一個(gè)系統(tǒng)：PAS 2000 步進(jìn)機(jī)。我們發(fā)展迅速，飛利浦和 ASMI 擴(kuò)大了投資，幫助 ASML 取得成功。1985 年，我們帶著 100 名員工搬進(jìn)了位于 Veldhoven 新建的辦公室和工廠，距離飛利浦研究實(shí)驗(yàn)室僅幾公里。1986 年，我們將 PAS 2500 步進(jìn)機(jī)推向市場，采用新的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，這將成為我們機(jī)器未來許多創(chuàng)新的基礎(chǔ)。同年，我們與鏡片制造商卡爾蔡司建立了現(xiàn)有的合作伙伴關(guān)系。ASML 在 Veldhoven 的第一座建筑到了1988年，飛利浦在臺(tái)灣建立了合資代工廠后，我們開始進(jìn)軍亞洲市場。在美國，我們的員工人數(shù)從幾名增加到 84 名，分布在五個(gè)辦公地點(diǎn)。但在市場競爭激烈、供應(yīng)商眾多的情況下，這家來自荷蘭的名不見經(jīng)傳的小公司卻無法突圍。ASML的客戶很少，無法自力更生。更糟糕的是，股東ASMI無法維持高水平的投資，回報(bào)甚微，決定退出，而全球電子行業(yè)形勢(shì)每況愈下，飛利浦宣布了大規(guī)模的成本削減計(jì)劃。我們這家年輕的、吞噬現(xiàn)金的光刻公司的生死存亡懸而未決。出于對(duì)正在進(jìn)行的研發(fā)的堅(jiān)定信念和迫切需要資金的指導(dǎo)，ASML 高管聯(lián)系了飛利浦董事會(huì)成員 Henk Bodt，后者說服了他的同事伸出了最后的援助之手。09從伸出援助之手到首次公開募股這筆投資得到了很好的利用。年內(nèi)，我們推出了突破性平臺(tái) PAS 5500。PAS 5500 憑借其行業(yè)領(lǐng)先的生產(chǎn)力和分辨率，吸引了 ASML 實(shí)現(xiàn)盈利所需的關(guān)鍵客戶。這是走向成熟的第一步。PAS 5500 平臺(tái)的早期廣告PAS 5500 是 ASML 成名的平臺(tái)。在推出之前，ASML 在光刻市場上排名第三，落后于巨頭尼康和佳能。但PAS 5500平臺(tái)的成功很快讓ASML上升到了第二位，并為其成長為全球光刻機(jī)領(lǐng)導(dǎo)者奠定了基礎(chǔ)。PAS 5500 源自飛利浦研究人員在 20 世紀(jì) 70 年代發(fā)起的一系列系統(tǒng)。該平臺(tái)的名稱本身就體現(xiàn)了它的傳統(tǒng)以及我們與飛利浦的長期合作關(guān)系：飛利浦自動(dòng)步進(jìn)器 (PAS)。Ted Shafer 是 ASML 的長期員工，現(xiàn)任成熟產(chǎn)品銷售經(jīng)理，他的整個(gè)職業(yè)生涯都與這一突破性平臺(tái)密切相關(guān)。“我在 PAS 5500 推出的同一年加入了 ASML，即 1991 年，”Ted 回憶道。“我的第一份工作是擔(dān)任應(yīng)用工程師，負(fù)責(zé)將有史以來第一批 PAS 5500 運(yùn)送到位于美國菲什基爾的 IBM。我的職責(zé)是優(yōu)化系統(tǒng)性能并幫助客戶工廠的新型系統(tǒng)達(dá)到生產(chǎn)級(jí)成熟度。”第一個(gè) PAS 5500 系統(tǒng)以及 Ted 對(duì)其優(yōu)化的努力促使 IBM 推出了 System/390 系列，用他們的話來說，該系列在當(dāng)時(shí)是“IBM 有史以來提供的最強(qiáng)大的計(jì)算機(jī)”。憑借這些領(lǐng)先產(chǎn)品，ASML在1995年成為了一家完全獨(dú)立的上市公司，在阿姆斯特丹和紐約證券交易所上市。飛利浦在首次公開募股中出售了一半的股份，并在接下來的幾年中出售了剩余的股份。首次公開募股帶來了進(jìn)一步推動(dòng)我們?cè)鲩L的資金，我們擴(kuò)大了位于 Veldhoven De Run 的研發(fā)和生產(chǎn)設(shè)施，該設(shè)施后來成為我們的新總部。10TWINSCAN 和浸沒式技術(shù)鋪平了道路2001年，我們推出了TWINSCAN系統(tǒng)及其革命性的雙階段技術(shù)。這些系統(tǒng)在測量和對(duì)準(zhǔn)下一個(gè)晶圓的同時(shí)曝光另一個(gè)晶圓，從而最大限度地提高系統(tǒng)的生產(chǎn)率和準(zhǔn)確性，從而提高客戶的所有權(quán)價(jià)值。同年，我們完成了對(duì)Silicon Valley Group 的收購，進(jìn)一步增強(qiáng)ASML在半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步方面的能力。TWINSCAN AT:1150i 作為第一臺(tái)浸入式機(jī)器于 2003 年首次亮相，隨后是 TWINSCAN XT:1250i、XT:1400i，并于 2006 年推出第一臺(tái)批量生產(chǎn)的浸入式機(jī)器 XT:1700i。2007 年，我們推出了數(shù)值孔徑為 1.35 的 TWINSCAN XT:1900i 浸入式系統(tǒng)，這是業(yè)內(nèi)最高規(guī)格的產(chǎn)品。借助這項(xiàng)新技術(shù)，我們使客戶能夠通過透鏡和晶圓之間的水層投射光線來生產(chǎn)更小的芯片特征。2007 年晚些時(shí)候，我們收購了 BRION，這是一家領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造優(yōu)化解決方案提供商。這是我們“整體光刻”戰(zhàn)略的開始。我們將光刻系統(tǒng)的知識(shí)與優(yōu)化光刻之前、期間和之后芯片制造工藝的技能相結(jié)合。我們整體光刻戰(zhàn)略早期階段的另一個(gè)關(guān)鍵產(chǎn)品是 YieldStar，這是我們的計(jì)量系統(tǒng)，可在芯片制造過程中提供實(shí)時(shí)測量和校正。第一個(gè) YieldStar (250D) 于 2008 年交付給客戶。11用EUV再次改變時(shí)代2010年，我們向亞洲芯片制造商的研究機(jī)構(gòu)運(yùn)送了第一臺(tái)極紫外（EUV） 光刻工具原型（TWINSCAN NXE:3100），標(biāo)志著光刻新時(shí)代的開始。EUV 光刻使用較短波長的光來制造更小的芯片特征，從而產(chǎn)生更快、更強(qiáng)大的芯片。2013年，我們收購了位于圣地亞哥的光刻光源制造商Cymer，以加速EUV的發(fā)展。同年，我們推出了第二代 EUV 系統(tǒng) (NXE:3300)，隨后于 2015 年推出了第三代 EUV 系統(tǒng) (NXE:3350)。EUV 光刻技術(shù)在 2016 年迎來了轉(zhuǎn)機(jī)，當(dāng)時(shí)客戶開始訂購我們的第一個(gè)生產(chǎn)就緒系統(tǒng) NXE:3400 。在此期間，我們不斷提高浸沒式光刻系統(tǒng)的性能，芯片行業(yè)的主力NXT1970Ci和NXT1980Di被安裝在世界各地的客戶工廠中。2016 年，我們收購了領(lǐng)先的電子束計(jì)量工具供應(yīng)商Hermes Microvision (HMI) ，擴(kuò)大了我們的整體光刻產(chǎn)品組合。在我們的共同努力下，電子束圖形保真度計(jì)量系統(tǒng) (ePfm5) 于 2017 年首次發(fā)貨。繼2018年總部位于荷蘭代爾夫特的高科技公司Mapper清算后，ASML同意收購該公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)資產(chǎn) 。2020 年初，EUV 進(jìn)入大批量生產(chǎn)，我們慶祝了第 100 臺(tái) EUV 系統(tǒng)發(fā)貨。但 2020 年的重要意義還在于另一個(gè)原因：新冠肺炎 (COVID-19) 大流行。我們遍布世界各地的團(tuán)隊(duì)通過創(chuàng)新新方式遠(yuǎn)程支持客戶、利用其專業(yè)知識(shí) 應(yīng)對(duì)大流行病以及伸出援手支持當(dāng)?shù)厣鐓^(qū)，證明了他們的適應(yīng)能力和即興發(fā)揮的能力。2020年11月，完成了對(duì)Berliner Glas集團(tuán)的收購 ，我們正式歡迎Berliner Glas團(tuán)隊(duì)加入ASML大家庭。該集團(tuán)的技術(shù)玻璃部門于 2021 年 4 月剝離給 Glas Tr?sch 集團(tuán) 。2023 年，我們推出了第一套下一代 EUV 系統(tǒng) ，其數(shù)值孔徑高達(dá) 0.55（稱為“高數(shù)值孔徑”）。該平臺(tái)稱為 EXE，具有新穎的光學(xué)設(shè)計(jì)和明顯更快的平臺(tái)。展望未來，ASML還將繼續(xù)創(chuàng)造奇跡。